Max-Planck-Institut für Metallforschung, Stuttgart - Mikroskope

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TEM
	SESAM	JEOL ARM 1250 KV	JEOL 4000FX	Philips CM200
HRTEM (Scherzer-Auflösung)	0.24 nm	0.12 nm	0.2 nm	0.27 nm
Röntgenanalyse (Ortsauflösung)	1 nm	–	>20 nm	–
EELS-Analyse Ortsauflösung Energieauflösung	parallel >0.5 nm 0.1–0.2 eV	parallel >20 nm ≥1 eV	–	–
maximaler Kippwinkel	30°/15°	45°/45°	30°/15°	60°/30°
Heizhalter (max. Temperatur)	900 °C	900 °C	900 °C	–
Kühlhalter	–160 °C	–160 °C	–160 °C	–160 °C
Verformungshalter	–	–	–	–
energiefilterndes Mikroskop	ja	ja	–	ja
Z-Kontrast	ja	–	–	–
Orientierungsmessung mit Kikuchi-Linien	–	–	–	–
energiegefilterte Beugung	ja großer Winkel	–	–	ja


TEM (Fortsetzung)
		ZEISS 912 Omega	VG HB 501UX
HRTEM (Scherzer-Auflösung)		–	–
Röntgenanalyse (Ortsauflösung)		>20 nm	1 nm
EELS-Analyse Ortsauflösung Energieauflösung		parallel >20 nm 0.9 eV	parallel >0.5 nm 0.3–0.7 eV
maximaler Kippwinkel		60°/30°	10°/10°
Heizhalter (max. Temperatur)		900 °C	–
Kühlhalter		–160 °C	–
Verformungshalter		–	–
energiefilterndes Mikroskop		ja	–
Z-Kontrast		–	ja
Orientierungsmessung mit Kikuchi-Linien		ja	–
energiegefilterte Beugung		ja begrenzter Winkel	–


REM
	LEO 438VP	JSM 6300F	JEM 6400	EPMA Cameca SX 100
Auflösung	5 nm	3 nm	5 nm	6 nm
Kippwinkel	90°	15°	(15°)	–
EDX	ja	ja	ja	(ja)
BSE	ja	ja	ja	ja
OIM	ja	–	–	–
WDX	–	–	ja	ja
Spektrometer	–	–	2	5
Kristalle	–	–	LIF, PET, TAP STE	LIF, PET, TAP PC0, PC1, PC2, PC3
große Kristalle	–	–	–	LLIF, LPET LPC1, LPC2
Antikontaminations- einrichtung	–	–	–	Sauerstoffjet, Kühlplatte
Pumpensystem (EPMA)	–	–	Turbopumpe	Turbopumpe, ölfreie Vorpumpe

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